自動(dòng)影像測量?jì)x是平面二維幾何量測量的種高密、率測量?jì)x器。主要是利用通過(guò)機、光、電、軟件等幾大領(lǐng)域的體化設計，采用非接觸的光學(xué)測量方法，自動(dòng)測量各種工件的幾何尺寸，如長(cháng)度、高度、深度、輪廓、表面形狀、角度和位置等。尤其適用于各種密工件的測量與質(zhì)量控制，如電子零配件、密模具、沖壓件、塑膠件、PCB、LCD、螺紋、齒輪、成形刀具等。隨著(zhù)自動(dòng)控制技術(shù)的發(fā)展，手動(dòng)影像測量?jì)x逐漸為自動(dòng)影像測量?jì)x所取代。
在自動(dòng)影像測量?jì)x上的測量均是單軸或二維平面坐標的測量,測量時(shí)先對焦,后對準,再讀數(計數),后計算處理。讀數來(lái)自于標尺即光柵系統,對焦對準依靠顯微鏡光學(xué)系統,還有個(gè)直接影響測量果和度的照明光源,因為,基于影像方法測量的儀器,如果被測件不能被有正確的照明,則測量的結果顯然要偏離其真實(shí)尺寸。除前述因素外,環(huán)境條件也是制約測量度不可忽視的因素?；谏鲜龇治?可以歸納出以下幾個(gè)方面的誤差來(lái)源：
1.光柵計數尺的誤差；
2.工作臺移動(dòng)時(shí)存在的直線(xiàn)度、角擺帶來(lái)的誤差；
3.工作臺兩測量軸垂直度帶了的誤差；
4.顯微鏡光軸與工作臺面不垂直帶了的誤差；
5.測量室溫度帶來(lái)的誤差；
6.光源照明條件的變化帶來(lái)的對焦和對準誤差。
這幾種因素中,前四項誤差,是硬件誤差,在儀器制造過(guò)程中已經(jīng)形成并固定下來(lái),般無(wú)法改變;溫度影響帶來(lái)的誤差,須通過(guò)控制測量室的溫度和等溫過(guò)程來(lái)減小其影響。后項則常被忽視,而在實(shí)際測量中,當光源照明條件改變時(shí),直接影響被測工件的照明果和影像質(zhì)量,主要是因為影像測量?jì)x的圖像是通過(guò)CCD接收,盡管CCD具有自動(dòng)調節增益的功能,但當亮度過(guò)大時(shí)即失去調節功能,導致被測工件影像在縮小,當亮度過(guò)低時(shí),工件影像反而變大。
這種影響,對于自動(dòng)影像測量?jì)x測量具有重復圖形結構之間的間距時(shí),只要整個(gè)測量過(guò)程中照明條件保持不變,其影響可以忽略,因為每個(gè)重復圖形結構都同時(shí)在變大或變小,間距的測量計算直接了影像變形的影響,如測量玻璃尺寸、網(wǎng)格板刻線(xiàn)間距;除了這種殊情形外,如測量圓的直徑、工件的長(cháng)度和寬度,都將帶來(lái)明顯的誤差。
